光学零件加工技术的重要性

现代光学零件具有大口径、 (亚) 纳米精度、 形状复杂、表面低损伤等特点，在空间观测、微电子制造、惯约聚变、同步辐射等重大光学工程中有着广泛应用，其制造水平直接影响国家的核心竞争力。

光学零件高端加工技术和装备被美国等西方发达国家视为战略资源，严格限制出口。因此，光学零件纳米精度加工技术，对提升国家核心竞争力具有重要的战略意义。

光学零件纳米精度加工的难点

光学表面纳米精度加工被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，是公认的世界性难题，主要表现为：纳米精度要求稳定实现亚纳米量级的材料去除；复杂形状引起材料去除率的变化，要求实现有效补偿；全频段误差和加工缺陷影响光学性能，要求实现一致收敛和去除。

由于长期以来光学加工采用基于经验的加工方法，具有很强的不确定，难以解决现代光学零件加工的瓶颈。

可控柔体确定抛光技术

基于磁流变、离子束等抛光技术的光学零件可控柔体确定抛光技术，以提高光学加工的可控性为目标，采用可适应面形变化的柔性介质作为抛光工具，可以实现光学零件的高精度、高效率和低损伤加工，其加工精度可以达到纳米级和亚纳米级。

-离轴抛物镜磁流变加工-

磁流变抛光技术是20世纪80年代国外发展起来的一种新兴的高端光学制造技术，利用磁流变液在磁场中的流变性对工件进行抛光，其加工精度非常高，是未来超光滑表面加工技术的发展方向。

离子束抛光技术对于光学加工领域是一个关键突破，实现了从接触式材料去除到非接触式材料去除的跨域，从原理上能够实现原子量级的材料去除，为光学加工带来了新的可能与应用。

-离子束技术可对蓝宝石元件进行高精度修形-

-亚纳米超高精度（rms0.239nm）-

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