在了解了接触式抛光之后，我们再来看看非接触式抛光。

非接触式抛光打破了用抛光工具接触玻璃表面抛除的模式，采用了高能量密度束流进行抛光，非接触式抛光主要是指电子束抛光、激光抛光和离子束抛光。

-离子束加工光学元件-

电子束抛光是利用高速的电子束经聚集线圈和偏转线圈后进入玻璃表面一定深度，与表面成分中原子核和电子发生相互作用，其能量传递主要通过电子与玻璃表面层成分中原子碰撞，所传递 能量以热能的形式传递给表面原子，使玻璃表面温度迅速升高，达到软化点以上熔融温度，由于表面张力作用形成自由表面，达到抛光目的。

激光抛光是利用高能量密度激光束辐照玻璃，导致玻璃表面瞬时熔融，由于熔融玻璃表面张力作用，使表面光滑平坦。为了防止玻璃表面冷却过快产生永久应力，还需要采用微波加热。激光波长为10.6^m易被玻璃吸收，激光器功率为200W，束斑直径8mm。辅助加热用微波功率2kW，频率2.45GHz。用红外温度计测量玻璃表面和玻璃体内温度。

离子束抛光是将惰性气体如Ar、Kr、Xe及N原子在真空度为1.33Pa条件下用高频或放电等 方法使其成为离子，再用20?25KeV的电压加速，然后撞击到放在真空度为1.33x10_3 Pa真空室的玻璃表面，从而使玻璃以原子级被去除。2012年，国防科技大学打破国外技术封锁，自主成功研制了离子束抛光装备，创造了光学零件加工的纳米精度。离子束抛光是非接触式抛光技术的发展方向。

-离子束抛光机-

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