纳米是一个长度单位，跟我们日常生活中接触到的厘米、米、千米等长度单位不同，纳米精度通常代表着当前的顶尖技术。今天卓精艺就来为大家介绍这种技术。

纳米精度光学表面这个词普通人可能了解不多，但在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等高精尖领域它有着重大需求。

随着装备性能需求的不断提升，这些光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限，对光学制造技术提出了更高挑战，使光学制造成为纳米制造技术的发展前沿。

现代光学零件具有大口径、(亚)纳米精度、形状复杂、表面低损伤等特点，在空间观测、微电子制造、惯约聚变、同步辐射等重大光学工程中有着广泛应用，其制造水平直接影响国家的核心竞争力。光学零件高端加工技术和装备也被美国等西方发达国家视为战略资源，严格限制出口。

光学表面纳米精度加工被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，也是公认的世界性难题，主要表现为：

纳米精度要求稳定实现亚纳米量级的材料去除；

复杂形状引起材料去除率的变化，要求实现有效补偿；

全频段误差和加工缺陷影响光学性能，要求实现一致收敛和去除。

-镜面加工的鬼影误差-

由于长期以来光学加工采用基于经验的加工方法，具有很强的不确定，难以解决现代光学零件加工的瓶颈。

基于磁流变、离子束等抛光技术的光学零件可控柔体抛光技术，以提高光学加工的可控性为目标，采用可适应面形变化的柔性介质作为抛光工具，可以实现光学零件的高精度、高效率和低损伤加工，为纳米精度光学表面制造提供技术支持，是解决(亚) 纳米精度、大尺度精度比、低损伤表面和复杂曲面等光学制造难题的有效制造方法。

-卓精艺磁流变抛光机，加工精度：纳米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)-

-离子束抛光机，加工精度：纳米精度加工，RMS 1/600λ(λ=632.8nm)-

卓精艺，专注于提供前沿性的高品质超精密光学智能抛光装备制造、光学材料、光机电定制产品、高精度复杂光学元件加工制造与检测、先进工艺技术方案及转让、国际技术合作等服务，服务于国防、安防、科研等应用领域，为客户提供中高端光学系统的产品和解决方案。如果您对我们感兴趣，欢迎来电咨询！