随着科学技术的发展，人们对光学元件加工提出了越来越高的要求，而光学元件表面缺陷直接影响着整个元件的性能和质量。

所谓的光学元件表面缺陷，主要是指表面疵病和表面污染物。表面疵病是指抛光加工后的光学元件表面依然存在的麻点、划痕、开口气泡、破边、破点等各种加工缺陷，产生的原因主要是加工过程或后续的不当操作。

-四种疵病的大致形状-

1、划痕

指光学元件表面长条形的划伤痕迹。由划痕长度的不同，可以分为长划痕和短划痕，以2 mm为界限，若划痕长度大于2 mm属于长划痕，小于2 mm则是短划痕。对于短划痕，评价标准是其检测时的累积长度。相对而言，划痕较麻点等缺陷更容易检测出。

2、麻点

指光学元件表面上的陷坑、蚀坑、疵点，其坑内的表面粗糙度较大，宽度与深度大致相同，边缘也不规则。一般情况下，规定长宽比大于4:1的缺陷为划痕，反之小于4:1的缺陷为麻点。

3、气泡

是由光学元件的生产或加工过程中未及时排除的气体所形成的，由于各方向气体的压力均匀分布，所以气泡的形状一般呈圆球形。

4、破边

是指出现在光学元件边缘的疵病，虽然处于光源有效区域之外，但是也属于光的散射源，对光学性能也会产生一定的影响，所以也属于疵病范畴。

由于光学元件表面质量的好坏直接影响整个光学系统的性能，因而光学元件表面面形误差和表面粗糙度也成为光学元件加工领域关注的两大重要指标。

而小磨头、磁流变、离子束等确定性抛光技术的诞生，可以精确微量确定性去除、高效率获得数十纳米以下高精度面形、纳米级表面质量且近无亚表面缺陷，很好地满足光学元件的超精密加工需求。

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