导语：我们的日常生活中的手机、电脑、电视都离不开“芯片”，今天卓精艺就来带大家认识半导体芯片制造业最核心的设备——光刻机。

随着信息社会的迅速发展，手机、电脑、电视等各种电子设备越来越“迷你”，从之前的“大哥大”到现在仅仅几个硬币厚的时尚手机，从老式的矮胖电视到如今轻薄的液晶电视，都不离开集成电路的发展，也就是我们平时所说的“芯片”。自从1958年世界上第一块集成电路问世以来，它的体积越来越小，性能却越来越强大。

而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展，芯片越做越小，集成的电路越来越多，能使终端变得小巧玲珑。

但其实，光刻机的制造非常之难。

制造光刻机就是在微观世界里“造房子”——光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统，它的内部运动精度误差不超过一根头发丝的千分之一。就像坐在一架超音速飞行的飞机上，拿着线头穿进另一架飞机上的针孔。

由于它技术的超高难度以及系统的复杂性，导致光刻机在全世界形成了超高的技术门槛。

以前，世界上只有少数国家能够制造光刻机，且长期以来对中国实施技术限制。

2002年，光刻机被列入国家863重大科技攻关计划。经过十几年潜心研发，我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，成为集光机电等多学科尖端技术于一体的“智能制造业中的珠穆朗玛峰”。

小工具数控抛光机、磁流变抛光机、离子束抛光机的成功研制，为光刻机的纳米、亚纳米级镜子制造提供了强有力的保障。

卓精艺，专注于提供前沿性的高品质超精密光学智能抛光装备制造（小磨头、磁流变、离子束、超光滑），可对石英、微晶、碳化硅、单晶硅、硫化锌等材料实现球面、非球面、自由曲面实现纳米精度加工，具有20年的工艺研究和装备研制经验。如果您对我们感兴趣，欢迎来电咨询！