导语：在光学零件加工领域，加工精度直接决定着行业的发展。过往我国大多采用传统抛光技术，无法进行超精密光学零件加工，国防科大的一项研发成果攻克了这一难题，“中国精度”达到亚纳米级。

1纳米有多长？相当于一根头发丝直径的1/80000。亚纳米有多长？小于1纳米！

2013年1月中旬，国防科大精密工程创新团队自主研制的磁流变和离子束两种超精抛光装备，创造了光学零件加工的亚纳米精度，并通过国家权威部门验收。

纳米精度被誉为超精密加工技术“皇冠上的明珠”，西方发达国家将其视为战略资源，严格出口。20世纪90年代，我国大多采用“手工+机械抛光”的传统加工技术，无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工。

国防科大精密工程创新团队经过20多年顽强拼搏，突破重重技术瓶颈，自主研制出磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了我国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹。

这一成果使我国光学主动化加工技巧及工艺一跃进入世界先进程度，成为继美、德之后第三个控制高精度光学零件制作加工技巧的国家，也是目前世界上唯一同时具有磁流变和离子束抛光设备研发能力的国家，有力支撑了“极大规模集成电路制作设备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破。

该团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”。

-磁流变抛光机床，纳米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)-

-离子束抛光机床，加工精度优于 1/600λ(λ=632.8nm)RMS-

卓精艺，专注于提供前沿性的高品质超精密光学智能抛光装备制造（小磨头、磁流变、离子束、超光滑）可对石英、微晶、碳化硅、单晶硅、硫化锌等材料实现球面、非球面、自由曲面加工，加工精度可达到纳米、亚纳米级。如果您对我们感兴趣，欢迎来电咨询！