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精密一体化碳化硅框架、安装基板等各型结构零件，应用于先进光电系统、半导体制造装备等领域

碳化硅结构件: 精密一体化碳化硅框架、安装基板等各型结构零件，应用于先进光电系统、半导体制造装备等领域

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